日本產(chǎn)總研開發(fā)出太陽能電池新制程
隸屬于日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所(AIST,下稱產(chǎn)總研)之下的太陽能發(fā)電工學研究中心,研發(fā)出能以低成本量產(chǎn)多晶矽太陽能電池反射防止膜的新技術(shù)。
產(chǎn)總研所開發(fā)的制造方法,是在多晶矽基板切片之后,又對基板施以噴砂作業(yè),借以移除切割痕跡,同時確保基板不會殘留任何線鋸上的材料,接著將基板浸泡于新開發(fā)的酸性蝕刻液中,去除噴砂處理所造成的表面破壞層,如此便能形成一層表面均勻的反射防止膜。
矽晶圓切片技術(shù)越精良,在制程中所耗損單位功率矽消耗量就越小,故切割技術(shù)的進步和太陽能發(fā)電成本可說是息息相關(guān)。
目前為止復線式游離磨粒線切割仍為業(yè)界主流,不過此種工法加工精度低、作業(yè)費時,完成后還有工件清洗、廢液處理等諸多問題。隨后以鋼線加上鉆石研磨顆粒進行切割的固定磨粒鉆石線鋸(DiamondWireSaw)技術(shù)出現(xiàn),只不過切口還是太過粗糙,無法充分維持反射防止膜的表面完整性。
產(chǎn)總研應(yīng)用新技術(shù)試作的多晶矽太陽能電池表現(xiàn)不俗。轉(zhuǎn)換效率為16.9%,短路電流(Isc)密度為每平方公分34.9毫安(mA),填充因子(FillFactor)為0.78。
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